1. 檢出區域 正面 膜面 EUV膜框 玻璃面 穿膜檢線路區 2. 獨特光學技術 3. 光罩無需翻面 4. 粉塵尺寸分類 5. 曝光前後瑕疵控管 6. Class 1無塵等級 7. 結合OHT系統 8. 提供SECS/GEM