EUV 光罩檢測機 Aurora-E
EUV 光罩檢測機 Aurora-E
正面:粉塵
膜面:粉塵,破洞
EUV膜框:粉塵
玻璃面:粉塵
穿膜檢線路區:粉塵
Feature

1. 檢出區域

正面
膜面
EUV膜框
玻璃面
穿膜檢線路區

2. 獨特光學技術

3. 光罩無需翻面

4. 粉塵尺寸分類

5. 曝光前後瑕疵控管

6. Class 1無塵等級

7. 結合OHT系統

8. 提供SECS/GEM

Pellicle side
Glass side