Frontside particle inspection： Particle Pellicle Side：Particle、破洞、針孔 Pellicle frame ： Particle Glass side ： Particle Through-pellicle inspection ： Particle
1.Defect 檢出：>1 um (glass/pellicle) >3 um (pattern side) >15um(Frame) 2. 獨特光學技術 3. Mask無需翻面 4. Particle size 分類 5. 曝光前後瑕疵控管 6. Class 1無塵等級 7. 結合 OHT system
