1. 瑕疵檢出: >30um
2. SFO®獨特光學技術
3. 玻璃面及膜面檢測, 光罩無需翻面
4. 粉塵尺寸分類
5. 曝光前後粉塵等瑕疵控管
6. Class 1無塵等級潔淨度
7. 支持SECS/GEM6.

8. 玻璃面清潔功能, >50um 95%粉塵移除