COG AOI
COG AOI
Module 製程: COG AOI(導電粒子檢測) 對貼合後爆破粒子數量、貼合的長度及貼合的軌跡做檢測
Feature
1. 即時自動對焦系統
2. 高解析度/頻寛 TDI
3. 高速瑕疵檢測及管理
4. 高效率軟體計算及檢測
5. 直觀的人機界面具有靈活且客製化設計
6. SPC
Pellicle side